探針座架設在真空腔體外側，在不破壞溫度及真空環境的情況下，隨著元件的冷縮熱膨，探針座可配合將探針做重復修改下針，為消除來自于真空腔體及地的震動，內建主動氣浮式防震桌。探針座2組到8組,真空10exp-3 Torr 到10exp-6 Torr， 甚至提供腔體正壓到達10atm，超低溫達4度K，超高溫達1200℃，除了DC直流pA應用之外，RF射頻也能勝任到40GHz。適合感知器，航太及軍事精密產品電特性分析，點選巨集而強大的其它應用。

1.無氧環境測量:在超低溫,常溫及高溫無氧下測量(Fuel Cell),偏電阻,DC直流及RF射頻40GHz

2.超低溫測量4K:真空無水氣,測量元件不會產生結露結冰現象.

3.超高溫測量1200C:真空無氧氣,測量元件在高溫下不會氧化.

4.光電元件低溫下光譜缺陷分析：光信號可經由光真空SMA介面接頭或上方的視窗選擇適當波長玻璃,石英Quartz,藍寶石…等等,由真空及大氣,導進導出.

5.超導霍爾Hall Effect研究:在超低溫的真空腔體又外加一對由電產生磁場的線圈,做磁控傳輸MagnetoTransport測量

6.特定氣體感知器:用真空腔體內環境先凈化,經由MFC送入特定氣體,做氣體與電信測量的相互關系試驗

7.壓力感知器:可建立真空（負壓）做真空計研究 及用氣體送入建立壓力(正壓)

特定氣體做壓力計研究,做壓力與電信測量的相互關系試驗。

8.濕度感知器:用真空將腔體內環境先凈化，送入濕氣做濕度感知器研究,做濕度與電信測量的相互關系試驗。